更新時間:2015-12-16 14:48:42 來源:互聯(lián)網(wǎng)
品 名 |
純度 | 密度 | 鍍膜優(yōu)勢色 | 形狀 | 常規(guī)尺寸 | 應用行業(yè) |
鈦鋁(TiAl)合金靶 | 2N8-4N | 3.6-4.2 | 玫瑰金/咖啡色 | 圓柱形 | 直 徑 60/65/95/100*30/32/40/45mm |
裝 飾 / 工 具 |
純鉻(Cr)靶 | 2N7-4N | 7.19 | 白色/黑色 | 圓柱形 | ||
純鈦(Ti)靶 | 2N8-4N | 4.51 | 金黃色/槍黑色 藍色/玫瑰紅 |
圓柱形 | ||
純鋯(Zr)靶 | 2N5-4N | 6.5 | 金色 | 圓柱形 | ||
純鋁(Al))靶 | 4N-5N | 2.7 | 銀色 | 圓柱形 | ||
純鎳(Ni)靶 | 3N-4N | 8.9 | 金屬本色 | 圓柱形 | ||
鎳釩(Ni)靶 | 3N | 8.57 | 藍綠色 | 圓柱形 | ||
純鈮(Nb)靶 | 3N | 8.57 | 白色 | 圓柱形 | ||
純鉭(Ta)靶 | 3N5 | 16.4 | 黑色/紫色 | 圓柱形 | ||
純鉬(Mo)靶 | 3N5 | 10.2 | 黑色 | 圓柱形 |
通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。
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