平板顯示器用靶材相關(guān)參數(shù)
更新時間：2015-12-16 13:38:23 來源：互聯(lián)網(wǎng)
平板顯示器用靶材
Targets For Flat Panel Display
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材料(符號)
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純 度
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形 狀
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最大尺寸
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氧化鋅鋁(AZO)靶
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3N5
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平面靶
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300x110mm
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氧化鈮(Nb2O5)靶
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3N5
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平面靶
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300x110mm
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二氧化硅(SiO2)靶
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4N
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平面靶
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1000x300mm
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多晶硅(Si)靶
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5N
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平面靶
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150x150mm
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鈮(Nb)靶
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3N
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平面靶
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1000x300mm
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鈦(Ti)靶
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2N5/4N5
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平面靶
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1500x300mm
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鉬(Mo)靶
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3N5
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平面靶
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800x300mm
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鉭(Ta)靶
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3N5
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平面靶
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1000x300mm
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鉻(Cr)靶
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2N5/3N5
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平面靶
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600x200mm
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鎳&鎳合金靶
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3N
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平面靶
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1500x300mm
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鋁&鋁合金靶
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4N/5N
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平面靶
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1500x300mm
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